Вбудована машина для напилення магнетронним розпиленням — це в основному магнетронне напилення постійного струму (або СЧ), яке можна адаптувати до широкого діапазону цілей, таких як: мідь, титан, хром, нержавіюча сталь, нікель та інші металеві матеріали, на які можна наносити покриття за допомогою процесу розпилення. може покращити адгезію плівки, відтворюваність, щільність, однорідність та інші характеристики.
- a.Основні характеристики та параметри
- b.горизонтальна лінійна структура може бути реалізована одночасно з покриттям з одного боку
- в.ефективність виробництва, найвищі швидкості до 1 хв/уд
- d.модульна конструкція, простота обслуговування
- д.Зрілість процесу листя, висока врожайність
- f.Катоди магнетронного розпилення постійного струму можуть відрізнятися залежно від вимог замовника
- g.Вакуумна система складається з механічного насоса, насосів Рутса, дифузійних насосів (молекулярний насос) Склад
- ч.Розмір корпусу лінії може змінюватися в залежності від вимог замовника