Лінія магнетронного розпилення алюмінієвого дзеркала
Короткий опис:
Лінія магнетронного розпилення алюмінієвих дзеркал призначена для високопродуктивного виробництва скляних дзеркал.Для покриття великого скла та догляду за тендітною скляною панеллю, особливо для аркушів великого розміру, ми зазвичай виготовляємо горизонтальну лінію напилення.Це безперервна лінія магнетронного покриття з передньою та задньою грубою насосною камерою, а після перехідної камери, до та після тонкої насосної камери, буферною камерою, кімнатою кольорового покриття.
Лінія вбудованого магнетронного розпилення алюмінієвих дзеркал зазвичай постачається з кількома вакуумними камерами для завершення вакуумного покриття на скляних листах.
Основні риси:
1. Максимальний розмір скляного покриття: 2440x3660 мм або індивідуальний
2. Доступні мультивакуумні камери та дизайн камери з кількома розпиленнями
3. Горизонтальна магнітна лінія керування має структуру з одного кінця та подвійного кінця;Подвійне очищення скла, покриття, виявлення, фарбування, сушіння, охолодження можна завершити одночасно
4. Лінія напилення покриттів використовує ПЛК для керування всім процесом і оснащена кольоровим екраном для відображення даних процесу нанесення покриття
Шар покриття: титан, хром, нержавіюча сталь, алюміній, срібло, мідь тощо.
З'єднання: TiN, TiO2 та ін.
Товщина шару: 5-100 нм
Пропускання: 8-40% при довжинах хвиль 380-780 нм
Температура осадження: кімнатна температура
Кінцевий тиск після 8 годин відкачування:
Вхідна шлюзова камера та вакуумна шлюзова камера: 5×10-1 Па або нижче
Буферна камера 1: 3×10-3 Па або нижче
Камера розпилення: 2×10-3 Па або нижче
Буферна камера 2: 3×10-3 Па або нижче
Вихідна шлюзова камера та вакуумна шлюзова камера: 5×10-1 Па або нижче