Основними особливостями ARC-500 є швидкий час циклу, простота експлуатації та зручність у використанні за вигідною ціною.Він має чотири високоефективні катодні дугові випарні катоди.Це ідеальний вибір для клієнтів, які бажають увійти у світ нанесення покриттів або хочуть додати швидку малооб’ємну систему PVD до свого парку машин.
Застосовувані технології:
Катодно-дугові випарні катоди
Переваги:
Високе цільове використання
Висока швидкість осадження
Швидка заміна катода
• Загальна структура: вертикальні передні двері, горизонтальні передні двері, задня вакуумна насосна система
• Матеріали: Порожнина виготовлена з високоякісної нержавіючої сталі SUS304
• Джерело іонної дуги: оснащено декількома наборами джерел живлення дуги відповідно до розміру обладнання
• Джерело живлення зміщення: оснащено потужним одноступеневим джерелом живлення зміщення імпульсу
• Мішені з кількома дугами: кілька наборів мішеней з титану або нержавіючої сталі як стандарт
• Обертова система: регулювання швидкості зі змінною частотою, комбінація обертання та обертання, верхня передача або нижня передача.
• Вакуумна система (обладнання для декоративного покриття): дифузійний насос (додатковий молекулярний насос) + насос Рутса + механічний насос
• Контроль газу: багатостороння система контролю масової витрати газу
• Система опалення: декоративне покриття 150 ℃ Контроль температури PID регульований і контрольований
• Інтелектуальне керування: інтелектуальне керування ПЛК + повнокольоровий сенсорний інтерфейс HMI для досягнення повністю автоматичного логічного керування
• Сигналізація та захист: сигналізація за ненормальних умов і застосування відповідних заходів захисту.
Макс.навантаження: 100кг
4-6 партій/день
МОДУЛЬНІ КАРУСЕЛЬНІ СИСТЕМИ:
Карусель із подвійним обертанням або коробка передач із потрійним обертанням
ПРОГРАМНЕ ЗАБЕЗПЕЧЕННЯ:
Просте використання та обслуговування
Система управління з сенсорним екраном
Запис даних і відображення в реальному часі параметрів процесу і потоку
Ручне та автоматичне керування процесом
РОЗМІРИ МАШИНИ:
Площа [мм]: L2300 x W1600 x H1950